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la photonique de la sonde d'émission Il est un outil qui est utilisé pour mesurer les signaux temporizzanti dans des dispositifs semi-conducteurs. Les mesures des temps d'émission de photons sont réalisées sur le côté arrière du dispositif à semi-conducteur. L'analyse du substrat de dispositif doit d'abord être amincie mécaniquement. Le dispositif est monté sur une plaque de changement de vitesse selon les axes X-Y dans une position fermée que la clôture de toutes les sources lumineuses. Le dispositif est alors relié aux stimuli électriques actifs. Le motif de stimulation est continuellement répété et une impulsion de commande est envoyé à la sonde instrument émission de photons pour l'informer quand on répète la séquence de test. Cette fonction de sonde comme un oscilloscope d'échantillonnage, et il est utilisé pour l'analyse des défaillances de semi-conducteurs.

Principe de fonctionnement

Lorsque le système de stimulation électrique est appliquée de manière itérative au dispositif à commander, les transistors intérieurs sont allumés et éteints. Lorsque les transistors NMOS et PMOS sont activés et émettent des photons. Ces émissions de photons sont enregistrées par un détecteur sensible aux photons. En comptant le nombre de photons émis à partir d'un transistor spécifique dans un intervalle de temps, peut être construit un histogramme photonique. L'histogramme photonique indique une augmentation de l'émission de photons pendant les temps de transition des sous ou hors tension. émission photonique joint révélateur de paires de transistors à -p et -n canaux contenus dans un port logique, il est possible d'utiliser le diagramme résultant pour déterminer la position temporelle des côtés amont et aval du signal sur ce point. La forme d'onde produite ne soit pas représentatif d'une tension réelle, mais elle représente avec précision le dérivé, avec des pics photoniques que seuls les côtés sont observés.

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Analyse des défauts