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la laser de sonde de tension est une tension dans le système d'acquisition de données de forme graphique sur la base du laser qui est utilisé pour effectuer l'analyse des défauts sur des circuits intégrés bosses flip-chip. Le dispositif qui doit être analysée est decapsulated pour exposer la surface de silicium. Le substrat de silicium est aminci mécaniquement en utilisant un outil d'amincissement. Le dispositif est ensuite amincie monté sur une platine mécanique et relié à une source de tension électrique. Les mesures de signaux sont effectuées à travers le côté arrière du dispositif après l'exécution de l'amincissement du substrat. Le dispositif au cours de l'étude est d'être stimulé électriquement à l'aide d'un motif de test itératif, avec une impulsion de l'obturateur de référence fournie à la sonde. Le fonctionnement de la sonde de tension de laser est celle d'un oscilloscope.

Principe de fonctionnement

Les signaux de tension de mesure des variables d'instrument dans la diffusion des régions périphériques. Le dispositif de la prise d'image est effectuée à l'aide d'un microscope laser à balayage. La sonde de faisceau laser utilise deux lasers pour remplir à la fois la capture d'images à la fois l'acquisition du graphique. Un laser est utilisé pour acquérir l'image de l'appareil ou d'un graphique, tandis que l'autre laser fournit une référence qui peut être utilisé pour soustraire les bruits indésirables à partir des données de signal au cours de l'acquisition. Sur un dispositif électriquement actif, l'appareil contrôle les variations de phase du champ électromagnétique autour d'un signal qui est appliqué à une jonction en cours d'examen.

L'instrument obtient la tension tracée en fonction du temps monotorizzando l'interaction entre la lumière laser et des variations du champ électrique à travers la jonction p-n. Lorsque le laser atteint la surface de la silicone, une certaine quantité de ladite lumière est reportée. La quantité de lumière laser réfléchie à partir de la jonction est échantillonné au cours du temps en divers points. la champ électromagnétique variable à la jonction p-n a une incidence sur la quantité de lumière laser qui est reporté. Par le suivi des variations de la lumière laser réfléchie en fonction du temps, il est possible de construire une forme d'onde du signal à la jonction. Alors que le module de test continue d'être réitérée, ils sont acquis successifs et la moyenne des mesures précédentes. Au cours d'une période de temps, l'exécution de ces moyennes de mesures donne lieu à une forme d'onde de plus en plus sophistiquée. Le résultat est un graphique représentatif de la présence d'un signal électrique dans la jonction p-n.